Procede de formation de structures submicroniques sur un substrat

Method of forming sub-micron-size structures over a substrate

Abstract

A method is provided for forming sub-micron-size structures over a substrate. A width-defining step is formed over the substrate. A width-defining layer is formed over an edge of the width-defining step. The width-defining layer is etched back to leave a spacer adjacent the width-defining step. A length-defining step is formed over the substrate. A length-defining layer is formed over an edge of the length-defining step. The length-defining layer is etched back to leave a spacer adjacent a first edge of the length-defining step and across a first portion of the spacer left by the width-defining layer. The length-defining step is then removed. The spacer left by the width-defining layer is then etched with the spacer left by the length-defining layer serving as a mask, to form the structure.
L'invention concerne un procédé destiné à la formation de structures submicroniques sur un substrat. Ce procédé consiste à former une marche définissant une largeur sur le substrat, à former une couche définissant une largeur sur un bord de la marche définissant une largeur, puis à graver la couche définissant une largeur pour laisser un élément d'espacement à proximité de la marche définissant une largeur. Ce procédé consiste ensuite à former une marche définissant une longueur sur le substrat, à former une couche définissant une longueur sur un bord de la marche définissant une longueur, puis à graver la couche définissant une longueur pour laisser un élément d'espacement à proximité d'un premier bord de la marche définissant une longueur et à travers une première partie de l'élément d'espacement laissé par la couche définissant une largeur. La marche définissant une longueur est ensuite retirée. L'élément d'espacement laissé par la couche définissant une largeur est par la suite gravée avec l'élément d'espacement laissé par la couche définissant une longueur servant de masque, pour former la structure.

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